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中华建设网讯（记者 李孟 通讯员 李建国 李冬冬）打破山东省“缺芯少面”局面，弥补集成电路产业空白，中建三局第一建设安装有限公司承建的国内首个协同式集成电路制造CIDM项目——青岛芯恩项目正按部就班，火热推进施工。
作为业内“高精尖”的代表，洁净厂房项目对施工技术甚至施工环境都有着特殊的要求。作为项目的“孵化者”，项目经理赵飞和他的团队在这里上演了一场有关匠心与攻坚克难的“故事”。
“既然冷，就捂热了再施工”
2021年“小寒”这天，第一波寒潮天气非常“应景”地入侵青岛，项目所在的东部海岸线的最低气温一度低至-24℃。
在一次巡场过程中，赵飞发现由于温度过低，洁净室地面环氧树脂凝固速度变慢，成品出现落差大、表面有磨砂的现象，不仅没有提高洁净度，反而成了颗粒物附着的温床，这将极大影响正常施工。他决定找项目总工李靖商量一下应对策略。
两人一”碰“，就”碰“出一个“土办法”。“既然它冷，那你就把他捂热了再施工。”于是他们提前启动MAU（空调机组），向洁净室内输送暖风，并将环氧地面划为几个片区，在周围设置暖风机施工，通过这种方式，不仅保证了施工质量，还提前一天交付了该片作业面。
尖端技术的最初构想，不仅来源于被人们冠以为常识的“土办法”，还有从生活中借鉴方法的“脑洞大开”。
“像接水一样进行气流模拟”
受层高、面积、设备排布等因素的影响，洁净室回风夹道设置在洁净室两侧，导致FFU（高效过滤器）送风时可能在洁净室中间区域形成涡流，从而使得由洁净室内生产设备、操作人员等产生的污染粒子滞留，影响洁净室整体空气质量，甚至会影响产品良品率。“工期一天天逼近，FFU的排布问题却一直没有解决，那段时间真是煎熬。”赵飞说。
一天早上，早起刷牙的赵飞看着杯子里的水，因水流冲击而上下循环翻滚时，突然灵光一闪：依照水龙头出水进杯子的方式对洁净室内的气流进行模拟，以此来确定最佳的排布方式。于是赵飞带着技术团队立即查阅资料，和FFU厂家沟通交流不同的排布实际效果，运用CFD气流模拟专业软件对项目洁净室气流进行模拟，通过多方案比较，合理调整FFU布置率和摆放位置，使洁净室内气流无死角，保证洁净室空气质量，成功达到了洁净度要求。
2021年4月15日，12寸厂洁净室迎来业主及专业检测机构联合检测，仅用时23个小时，室内温度及湿度就达到设备搬入要求，且在后续48小时内保持温度波动在0.2摄氏度内，湿度波动在1%之内，达到行业顶尖水准，施工质量得到业主方领导张汝京博士亲自点赞。
洁净厂房的建造不仅要考虑到洁净度，对于厂房的用途也需要相应的技术配套，高精度的芯片生产，要求赵飞团队必须要以格物致知、精益求精的工作态度进行钻研。
“搭台子”解决减震难题
芯片生产需要用到大量精密仪器，如光刻机、电子束装置及电子显微镜等，设备处理线宽只有40纳米甚至更低，稍有超出标准的震动就会导致仪器在刻画时出现偏差，使芯片报废，甚至会导致精密仪器损坏，造成无法估量的损失。
“不解决这个技术壁垒，洁净室做得再好也没用。”赵飞带着技术团队一头扎进了会议室。他们发现微震产生的主要原因是厂房内部机器设备运行、管道内液体和气体等在管道拐弯、变径时等产生的震动传导，要想将微震控制在技术工艺标准范围之内，必须控制结构力场的传递效率。经过连续3天的反复论证研究，赵飞拿出了解决方案：与设计单位沟通，根据设备参数为设备设置减震台座，设备与管道采用柔性连接，将风管内的空气流速限定在9米每秒内，管道内的液体流速控制在2.5米每秒内。
正当大家以为这个方案一定能解决问题时，实践中出现的问题给他们泼了一盆凉水，应用中发现了新的问题：多根管道同用一个支架时，各管道之间的力场存在相互影响的情况，在对某一管道进行抗微震处理时，其他管道会借机“拆台”。
为了让各管道间达到平衡状态，赵飞带着技术团队对项目所有与震源相连的管道进行了抗微震计算，并创造性地采用了减震共架这一新型支架，为管道搭起减震的”台子“。同时，结合计算得到的各类管道的抗微震数值，对管道进行优化排布，将项目微震环境标准控制在振动速度25微米每秒，成功达到了设计标准，保障了施工的顺利实施。
两年来，项目经理赵飞带领着一支“硬核”团队扎根建设一线，攻克了一项项行业前沿的工程技术难点，打造了一支特别有凝聚力和战斗力的团队，实现了项目一期工程的顺利投产，且由于过硬的技术和履约质量，该团队又顺利承接到该项目的二期扩建工程，形成了以履约促市场的局面。未来，他们将继续奋勇向前，创造更多的“世界一流”，不断攻破技术壁垒，坚持成功背后的执着。
